خلاصه
يك طيف الكترون اوژه اطلاعات متنوعي در مورد سطح لايه، نوع عنصر و غلظت نسبي آن به دست مي‌‌دهد. اما اولين اطلاعاتي كه مي‌‌توان به دست آورد، نوع عنصر و غلظت نسبي آن عنصر است. طيف‌‌سنجي الکتروني اوژه، براي شناسايي شيميايي سطح نمونه‌‌اي با ترکيبات مختلف، کاربرد دارد و به دليل محدوديت نفوذ الكترو‌نهاي اوژه در عمق، يك روش شناسايي حساس به سطح است. از مزاياي اين روش، حساسيت بالا و سرعت قابل قبول آن براي شناسايي شيميايي مواد در فاصله 5 تا 50 آنگسترم از نزديك سطح جامد است.                      

کاربردهای کلی

• آنالیز ترکیبی منطقه ۵ تا ۳ نانومتر نزدیک سطح برای تمام عناصر به‌جز هیدروژن و هلیم
• رسم منحنی عمق – ترکیب و آنالیز فیلم نازک
• آنالیز شیمیایی تجزیه جانبی بالای سطح و مطالعات ناهمگون برای تعیین متغیرهای ترکیبی در محدوده بزرگ تراز ۱۰۰ نانومتر
• آنالیز مرزدانه و دیگر سطوح مشترک به وجود آمده شده به وسیله ترک
• تشخیص فازها در مقاطع میانی

مثال‌هایی از کاربرد

• آنالیز عدم خلوص سطوح مواد برای تضمین کارکرد آن در خواصی مثل خوردگی، فرسودن، تحریک ثانوی الکترون و تجزیه
• تشخیص محصولات واکنش شیمیایی برای مثال در اکسایش و خوردگی
• ارزیابی ترکیبی در عمق فیلم‌های سطحی، پوشش، و فیلم‌های نازک به کار رفته برای تغییر و تبدیل مختلف سطوح متالوژیکی و کاربرد میکروالکترونیک
• آنالیز شیمیایی مرزدانه برای ارزیابی نقش رسوب مرزدانه‌ای و تفکیک محلول روی خواص مکانیکی، خوردگی و خوردگی تنشی

نمونه‌ها

• جامدات،(فلزها، سرامیک‌ها و مواد آبی) با فشار بخارهای نسبتاً پایین (کمتر از ‎ ۱۰^-۸ تور در دمای اتاق). مواد با فشار بخار بالا می‌توانند با خنک کردن نمونه استفاده شوند . به طور مشابه، بسیاری از نمونه‌های مایع می‌توانند به وسیله خنک کردن یا به وسیله به کار بردن یک فیلم نازک در داخل یک پایه رسانا استفاده شوند.
• اندازه : ذرات پودری شکل تنها به قطر یک میکرومتر می‌توانند آنالیز شوند. بیشینه اندازه نمونه وابسته به بکار رفته‌است.
• توپوگرافی سطح : سطوح مسطح مرجح هستند، اما سطوح ناهموار می‌توانند در مناطق کوچک انتخابی (تقریباً ۱ میکرومتر) آنالیز شوند یا در مناطق وسیع ۰٫۵mm) قطر ) میانگین‌گیری شوند.
• آماده‌سازی: نمونه‌ها باید عاری از اثر انگشت، روغن و سایر مواد فشار بخار بالا باشند.

محدودیت‌ها

• غیر حساس به هیدروژن و هلیم .
• آسیب پرتو الکترون می‌تواند تست غیرمخرب مواد آلی و زیستی و گاه مواد سرامیکی را محدود کند.
• بار اکتریکی پرتو الکترونی ممکن است آنالیز مواد تجزیه‌شونده را محدود کند.
• حساسیت ردیابی کمی برای بیشتر عناصر از ۰٫۱ تا ۱ درصد اتمی است.

زمان تقریبی آنالیز

معمولاً زیر ۵ دقیقه برای بررسی کامل از ۰ تا ۲۰۰۰ الکترون ولت کافی است.

• آنالیزهای نقطهٔ اوج انتخابی برای مطالعه تأثیرات شیمیایی، حدس عامل اوژه و نمایش عموماً طولانی‌تر است.